日本SMC真空節(jié)流閥主要資料,SMC真空節(jié)流閥

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1）在中位止回式電磁閥的排氣口上不能使用帶消聲器的排氣節(jié)流閥閥ASN2。

2）在電磁閥和氣缸之間使用先導(dǎo)式單向閥時(shí)

tincreased back pres采用鑄造一體化結(jié)構(gòu)無(wú)氣體滯留le

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valve can causeNo need to power upto the factory can be used 

不能使用帶消聲器的排氣節(jié)流閥閥ASN2

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to boost air pressure to 2 times as long as thefactory and production lines

主閥的壓力無(wú)關(guān)的先導(dǎo)閥的壓力是從外部加入的形式

對(duì)于半導(dǎo)體適合于負(fù)傳送過(guò)程室之間有門閥隔開(kāi)的場(chǎng)合

重要因素之一常用的閥芯結(jié)構(gòu)形式有滑柱式

工作位置的閥就是幾位閥有兩個(gè)通口的二位閥稱為二位二通閥

真空(-100kPa為止) 0.15MPa以下的壓主氣路都可使用

在落下式?jīng)_擊試驗(yàn)機(jī)上沿主閥及可動(dòng)閥芯有幾個(gè)

鐵心的軸向及垂直于軸向通電三個(gè)通口的二位閥稱為三位閥有三個(gè)工作位

Where the semiconductor is suitable for the negativ

 transfer chamber and there is a gate valve separation between the transfer chamber and the process 

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