放出氣體量少。重金屬污染少。
無氣體積留的遺體鑄造結(jié)構(gòu)。
鋁制高真空L型閥,安裝上具有與XL系列的互換性(XM系列)。
使用壓力:1×10-6Pa(abs)
泄漏量:內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。洗凈后可重復(fù)使用。采用鋁制主體。
受熱升溫均勻。重量輕、外形緊湊。放出氣體少。
重金屬污染少??筛鼡Q波紋管。耐氟。
維護性提高波紋管更換更容易
可通過頂部拆裝們(訂制規(guī)格)
用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
消耗功率:多削減25%。
質(zhì)量:多減小18% 0.5kg→0.41kg。
閥與針閥一體化,配管空間為原來的1/4。
密封部采用金屬膜片,大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
初始供氣、主給気可同時進行流量調(diào)節(jié)。
在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負(fù)載鎖定室
和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。
長壽命:300萬次(常溫時)
發(fā)塵量:減少至1/5以下(與以前型號相比)
機械強度大、耐壓能力強、耐腐蝕性強。
可機械加工、鉚接、釬接、焊接及同時燒結(jié)。
可作為氣體的切斷閥使用。
接觸氣體部分無彈簧,驅(qū)動部也使用膜片隔離,
因此減小了氣路的死區(qū),抑制了粒子的產(chǎn)生。
用于洗凈及潔凈室組裝。
全部產(chǎn)品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。
符合SEMI規(guī)格采用方便作業(yè)的鍛造主體。
操做通口為M5螺紋(AK3542, 4542)。
手輪構(gòu)造經(jīng)過改良、實現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3652, 4652)。
采用有凹凸的圓形手輪,更便于操作和確認(rèn)(AK3652, 4652)。
從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
產(chǎn)品體型小、重量輕。安全對策采用機械式端鎖機構(gòu)
適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。
外部金屬密封構(gòu)造。
從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
主體材質(zhì)可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。
質(zhì)量:0.52kg、高:97.5mm。
內(nèi)部容積小,其體積存量少。
配管擴展品[單向閥]防止背壓使流體逆流。
構(gòu)造簡單,內(nèi)部的可動零部件僅為O形圈。
采用無彈簧的構(gòu)造,可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒,降下游的壓力變動。
[真空發(fā)生器]真空發(fā)生器。
用于更換氣罐時,排出配管中殘余的氣體。[流量開關(guān)]
檢測配管破裂等造成的過剩流量。
全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。
從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型??捎糜谙磧?。
降執(zhí)行器的高度,實現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3542, 4542)。
可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。
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