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放出氣體量少。重金屬污染少。
無氣體積留的遺體鑄造結(jié)構(gòu)。
鋁制高真空L型閥，安裝上具有與XL系列的互換性（XM系列）。
使用壓力：1×10-6Pa(abs)
泄漏量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。洗凈后可重復(fù)使用。采用鋁制主體。
受熱升溫均勻。重量輕、外形緊湊。放出氣體少。
重金屬污染少?？筛鼡Q波紋管。耐氟。
維護性提高波紋管更換更容易
可通過頂部拆裝們（訂制規(guī)格）
用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
消耗功率：多削減25％。
質(zhì)量：多減小18％ 0.5kg→0.41kg。
閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。
密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
初始供氣、主給気可同時進行流量調(diào)節(jié)。
在半導(dǎo)體裝置等中、適合用作負(fù)載鎖定室
和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。
長壽命：300萬次（常溫時）
發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號相比）
機械強度大、耐壓能力強、耐腐蝕性強。
可機械加工、鉚接、釬接、焊接及同時燒結(jié)。
可作為氣體的切斷閥使用。
接觸氣體部分無彈簧，驅(qū)動部也使用膜片隔離，
因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
用于洗凈及潔凈室組裝。
全部產(chǎn)品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。
符合SEMI規(guī)格采用方便作業(yè)的鍛造主體。
操做通口為M5螺紋（AK3542, 4542）。
手輪構(gòu)造經(jīng)過改良、實現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3652, 4652）。
采用有凹凸的圓形手輪，更便于操作和確認(rèn)（AK3652, 4652）。
從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
產(chǎn)品體型小、重量輕。安全對策采用機械式端鎖機構(gòu)
適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。
外部金屬密封構(gòu)造。
從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
主體材質(zhì)可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。
質(zhì)量：0.52kg、高：97.5mm。
內(nèi)部容積小，其體積存量少。
配管擴展品［單向閥］防止背壓使流體逆流。
構(gòu)造簡單，內(nèi)部的可動零部件僅為O形圈。
采用無彈簧的構(gòu)造，可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒，降下游的壓力變動。
［真空發(fā)生器］真空發(fā)生器。
用于更換氣罐時，排出配管中殘余的氣體。［流量開關(guān)］
檢測配管破裂等造成的過剩流量。
全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。
從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型?？捎糜谙磧?。
降執(zhí)行器的高度，實現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3542, 4542）。
可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。
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